光电子谱分析仪器技术与应用专题论坛

暨第二届全国光电子谱分析仪器技术与应用学术交流会圆满落幕

2024年7月29日至31日，由中国仪器仪表学会主办，西安交通大学、中国科学院高能物理研究所、中国科学院长春光学精密机械与物理研究所、广州禾信仪器股份有限公司和北京卫星环境工程研究所共同承办的“光电子谱分析仪器技术与应用专题论坛暨第二届全国光电子谱分析仪器技术与应用学术交流会”在成都市世纪城国际会议中心隆重举行。

本次会议采用线上线下相结合的方式，国家重点研发计划基础科研条件与重大科学仪器研制项目首席科学家，西安交通大学陈玉教授担任会议主席。陈玉教授在致辞中强调，交流会旨在推动光电子谱分析仪器学科的发展，促进国内高端分析仪器产业的科技创新，并为科研工作者、厂商及用户提供高效交流平台。

会议吸引了众多国内外知名专家，日本千叶大学石井久夫教授、匹田政幸教授，中科院上海微系统与信息技术研究所乔山研究员，中山大学正高级实验师谢方艳老师，中科院化学研究所赵志娟高级工程师，大连交通大学郭方准教授，中科院化学研究所赵志娟高级工程师、中山大学的谢方艳正高级实验师、中科院高能物理研究所刘术林研究员、中科院长春光学精密机械与物理研究所黄煜研究员、北京卫星环境工程研究所沈自才研究员等发表了特邀报告，针对光电子谱分析技术与仪器的最新研究进展进行了深入探讨，并就各自研究领域的热点问题进行了精彩纷呈的报告。

大会主席西安交通大学陈玉教授深入剖析了光电子谱联合分析仪在高端集成电路制造中的应用潜力，展望了其发展前景。并着重强调，该分析仪融合了X射线光电子能谱（XPS）与紫外光电子能谱（UPS）等先进技术，精确揭示了材料表面与界面的化学及电子结构，为集成电路生产中的材料分析及质量控制提供了坚实的技术支撑。

  日本千叶大学石井久夫教授围绕“高灵敏度光电子发射测量研究材料电子结构”的主题，精彩阐述了HS-UPS与PYS技术，展示了技术的理论深度与应用前景，为与会者带来了富有启发的学术见解。

日本千叶大学匹田政幸教授深入讲解了低能量反光电子能谱（LEIPS）技术，阐释了其原理及在材料表面电子结构研究中的应用，并通过实验数据和实例展现了该技术在先进材料研究中的巨大潜力。